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分子泵

分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵這種泵具體可分為:
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量,被驅送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。
3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。

 

 

分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同,利用了動星傳遞原理,使分子定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。

分子泵在電機的帶動下高速旋轉,采用變頻電源驅動電機,目的是得到較高的轉速。在分子流區域內,氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞,動星傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上,產生定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。通常把用高速運動的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運動的現象稱為分子牽引現象,利用這一現象制成的真空泵稱為牽引分子泵(蓋德泵)。牽分子泵的優點是啟動時間短,在分子流態下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸氣,特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小,密封間隙太小,工作可靠性較差,易出機械故降,而且制造困難,實際上很少應用。后來對牽引分子泵進行了改進,出現了渦輪分子泵      渦輪分子泵內有多組相間動輪葉和定輪葉,每一個輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片實際的渦輪分子泵都是由多級葉列串聯組成,即按動片、定片、動片等依次交替排列。動葉片轉動時又類似于電風扇葉片的作用,能將氣體從一一側抽到另一側。提高分子泵的轉速,有利于提高分子泵的抽速。由于葉片轉速限制,如果氣體分子運動速度較大,泵抽真空比較困難。

 

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